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Agilent Technologies B1500A Guía de usuario Pagina 589

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Agilent B1500 User’s Guide, Edition 7 10-37
Application Library and Utilities
QSCV Measurement Supplemental Data
Figure 10-19 Calculation Example of Measurement Accuracy: HRSMU/ASU
Conditions:
QSCV Operating Mode: Normal
Measurement Range: 100 nA
Output Range: 20 V
Integration Time: 2, 1, 0.5, 0.3 s corresponding to the lines from top to bottom
Equivalent Parallel Resistance of DUT: 100 M ohm
Guard Capacitance of Measurement Path: 200 pF
0
2
4
6
8
10
12
14
0.001 0.01 0.1 1 10
QSCVMeasurement Voltage (V)
Reading Accuracy (%)
1.E-12
1.E-11
1.E-10
1.E-09
1.E-08
1.E-07
1.E-06
0.001 0.01 0.1 1 10
QSCVMeasurement Voltage (V)
Offset Accuracy (F)
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